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通式Si_nH_2n+2的一类硅的氢化物。已知的有SiH₄、Si₂H₆、Si₃H₈、Si₄H₁₀、Si₅H₁₂和Si₆H₁₄六种直链的或支链的氢化硅。前四种的物理性质见表。

硅烷的热稳定性随着分子中硅原子的增多而迅速降低。SiH₄和Si₂H₆在400℃时开始分解，Si₄H₁₀在室温时已明显分解，Si₆H₁₄的分解速率更快。

硅烷在空气中可燃烧，生成SiO₂和H₂O；与卤素单质作用生成卤代硅烷，在催化剂存在下能与卤化氢作用生成卤代物。例如：

硅烷能被水分解，在微量酸或碱存在下反应速率加快：

SiH₄+2H₂O→SiO₂+4H₂

硅烷与醇类反应，生成硅酸酯；在一些有机溶剂中或液氨中还能与碱金属、碱金属的氢化物和烷基化物进行置换或复分解反应。此外，硅烷在催化剂存在下，还能与氯仿发生氢和氯的对换作用。

硅烷最早是用硫酸或磷酸水解硅化镁Mg₂Si来制备，产品是一种硅烷混合物。后来逐渐利用氢化铝锂与卤化硅在乙醚中反应来制备：

硅烷中的甲硅烷较重要，是热分解法制取超纯硅，生产半导体硅的原料。